触針式段差膜厚計
Alpha-Step IQ（KLA-Tencor社）
♦ 仕様
| 測定方式 | 触針式（ステージ駆動、触針固定） |
|---|---|
| 垂直方向分解能/測定範囲 | 1Å/±6.5μm、5Å/32μm、25Å/±300μm |
| 段差測定再現性 | 8Å（13μmレンジ） |
| 走査距離 | 最大60mm |
| 走査速度 | 1μm/秒-25mm/秒 |
| サンプリングレート | 50,100,200,500,1000ポイント/秒 |
| サンプルサイズ | 最大254mm |
| アクセス範囲 | 最大152mm |
| 撮影カメラ | サイドビュー：95-410倍、トップビュー：115-465倍 |
♦ 問い合わせ先（依頼測定含む）
＊相談の内容によってはお断りさせていただく場合があります。ご了承ください。
♦ 管理責任者
工学研究科 電子工学専攻 加藤剛志 教授
♦ 設置場所
C3① IB電子情報館南棟1階170号室 電子工学専攻