装置の構成 | プローバー部(試料保持ステージ/プロービング機構/CCDカメラ機構/架台) 磁場印加部(垂直磁界電磁石/面内磁界電磁石/テラスメーター/バイポーラ電源/電磁石移動機構) |
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ステージ寸法 | φ3インチまでセット可能 |
試料寸法 | □20mm t=0.5mm 1枚 |
周波数帯 | DC~高周波 |
磁界の方向,強度 | 試料に対し垂直 Max1.0T以上(鉄ヨーク) 試料に対し面内 Max0.3T以上(鉄ヨーク) |
測定雰囲気 | 大気中,室温 |
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工学研究科 電子工学専攻 加藤剛志 准教授
C3① IB電子情報館北棟3階327号室 電子工学専攻